機台服務

機台翻新

Amte機台翻新針對Applied之蝕刻機(Etcher)和薄膜機(T/F)以及Lam的蝕刻機(Etcher)作翻新。

機台拆遷與安裝

對於半導體設備的所有機台 Amte都能提供拆遷和安裝至TierⅡ。

維修服務

手臂與閥件翻新

1. 更換容易損耗的零件
2. 清潔導桿、螺桿等運動部件
3. 潤滑運動部件
4. 操作測試
5. 產品最終確認及清潔包裝
6. 售後服務

1.手臂維修

提供自動化手臂翻新維修，目前維修中心設在中國無錫廠區，主要服務的項目為半導體產業中Wafer傳送之機械手臂。

2.閥件維修

各種閥件專業的維修服務，包括MKS、VAT、SMC(Throttle、Isolation、Gate)Valve等，供應高優質的產品及全方位的技術。

機台故障排除