Amte 可以維修PRI Robot，Pre-aligner 以及 Controller。

100系列Robot運用於 Therma-Wave, Asyst, Novellus 776, Auriga 等

• ATM-105

200系列Robot運用於 Novellus 776 R3等

• ATM-205

300系列Robot運用於 Mattson RTP等

• ATM-305

400系列Robot運用於Therma-Wave, Nissin, Sony, KLA, AMAT,Lam, Novellus等

• ABM-405
• ATM-407

PRE

• PRE-200系列
• PRE-300系列

Controller

• ESC-200
• ESC-212