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石英類
| 原廠料號 |
品名 |
邑維料號 |
照片 |
| 0200-09216 |
Ring, pedestal, 6” |
311-4406422 |
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| 0200-09446 |
Liner - quartz lower |
A-511-L512926 |
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| 0200-09555 |
Quartz focus ring |
311-4407082 |
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| 0200-09558 |
Quartz collar |
311-4407083 |
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| 0200-09664 REV A |
Window, slit, QUARTZ |
A-611-5211494 |
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| 0200-09742 |
Ring, focusing quartz Poly/WYS 150 mm, 162 mm |
A-511-9111537 |
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| 0200-09744 |
Ring, focus quartz poly/Wys 150mm, 170mm |
311-4406423 |
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| 0200-09772 |
Filter slit window quartz |
A-511-5212186 |
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| 0200-09785 |
Quartz capped fused |
A-511-9113384 |
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| 0200-09789 |
Cover quartz 6 stepped lift 2 flatted ESC |
A-511-L512901 |
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石英類
