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設備廠商

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Applied
原廠料號 品名 邑維料號 照片
0021-02395 Insert ring, aluminum, DXZ SACVD A-511-L512908
0021-03568 Faceplate 200MM SACVD A-611-C112801
0021-04268 Gas distribution platep+133 hole A-511-9113380 查看圖檔
0021-09718 Liner, slit valve A-511-9112777
0021-10296 Output manifold, Univ Ch. W/Align holes A-161-C110202 查看圖檔
0021-10438 "Insulator,Pwr Side,Teflon.dpa ,0021-10438 " A-431-C112370
0021-10666 Block,GAS/WTR,chamber lid,giga-fill SACV 查看圖檔
0021-18728 ARC block plate screw A-511-9113079
0021-20718 lower pedesal cover A-511-9112208
0021-23550 Mixer Input manifold 0021-23550 A-161-C110201 查看圖檔
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