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設備廠商

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Applied
原廠料號 品名 邑維料號 照片
0020-32048 Post,upper 2 PC, Vespel Ext pedestal
0020-32049 Cap, Vespel, ESC A-511-9113383 查看圖檔
0020-32237 Vespel cover 200mm A-491-3812546
0020-32263 Gas Distribution plate 145 hole A-511-L512925
0020-32365 Filter, UV, recessed endpoint A-511-L512924 查看圖檔
0020-33166 Aluminum shim A-511-G913053 查看圖檔
0020-33538 Showerhead perforated plate A-511-F911193
0020-34118 Vespel ring,150mm clamp A-511-9111540 查看圖檔
0020-34466 Sus bellows washer A-511-9113086
0020-34606 Plate blocker A-511-F911195
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